दुवैभ्याकुम पम्प र कम्प्रेसरप्रोसेसिंग ग्यास प्रशोधनका लागि उपकरणहरू हुन्, तर आवेदनहरूको काम र आवेदनको दायरा फरक छन्।
भ्याकुम पम्पको मुख्य कार्य भनेको पाठ्यक्रमबाट ग्यासबाट ग्यासबाट कन्टेनरको दबाब कम गर्नको लागि एक पूर्वनिर्धारित भ्याकुम डिग्री प्राप्त गर्न। ग्यास सूचक र निकास संयन्त्रको माध्यमबाट खाली ठाउँबाट निकालेको छ भ्याकुम राज्य गठन गर्न। भ्याकुम पम्पहरू सामान्यतया प्रयोगशालाहरू, उत्पादन र निर्माण खेतहरूमा प्रयोग गरिन्छ। वेफर FABS मा, eching उपकरण, जम्मा उपकरण, euv litherganit उपकरण, आयन इम्प्रेन्टेन्टेसन उपकरण, पत्ता लगाउन र विशेषता उपकरण, ESPUMED लाई खाली गर्न आवश्यक छ।
कम्प्रेसर को प्रकार्य ग्यास बयान र ग्यास को दबाव वृद्धि गर्न को लागी, ग्यास को दबाव वृद्धि, ग्यास एक सानो खण्डमा कम्युट, र ग्यास को घनत्व र दबाव वृद्धि। यसको कार्यविधिहरू निकास भल्भको माध्यमबाट ग्यास संकलन गर्नु हो, र त्यसपछि संकुचित ग्यास ग्यास ट्या tank ्क वा अन्य उपकरणहरूमा राख्नुहोस्। कम्प्रेसरहरू प्राय: प्रशोधन र निर्माण खेतमा प्रयोग गरिन्छ। सीडीए ग्यास हामी अक्सर प्रतिबद्धता द्वारा प्रदान गरिएको छ। Cdea विभिन्न एटटेसन उपकरण र भल्भ नियन्त्रण गर्न प्रयोग गरीन्छ। अर्धन्डुडौटाको लागि, Cda धेरै शुद्ध र सुख्खा हुनु पर्छ। कम्प्रेसरद्वारा हावा आउटपुटले तेल, ओसिलो र अन्य कणहरू हटाउनको लागि एक परिष्कृत फिल्टररेसन प्रणालीबाट पार गर्नु आवश्यक छ कि त्यहाँ वेफरको कुनै प्रदूषण छैन।
कोटिहरू के हुन्भ्याकुम पम्प र कम्प्रेसर?
अर्धवाण्ड उपकरण, सुख्खा पम्प र आणविक पम्पहरू सामान्यतया प्रयोग गरिन्छ। सुख्खा पम्पले भ्याकुम पम्पलाई जनाउँछ जुन कुनै पनि तरल कुनै पनि तरल पदार्थ प्रयोग गर्दैन र तेलको दूषित पदार्थको समस्यालाई वेवास्ता गर्दछ। यो सामान्यतया अर्धवान्डुनिक उपकरणको कुनै न कुनै शून्युअम निकायको लागि प्रयोग गरिन्छ। आणविक पम्पहरूले अत्यन्त उच्च भ्याकुम स्तरहरू प्राप्त गर्न सक्दछन्। सुख्खा पम्पहरू र आणविक पम्पहरू प्राय: अर्धवान्डुनिक उपकरणमा संयोजनमा विभिन्न भ्याकुम स्तरहरूको आवश्यकताहरू पूरा गर्न प्रयोग गरिन्छ।
कम्प्रेसरहरूलाई पिस्टन, पेचन, सेन्ट्रीफुगल, रोटरी VANE एयर कम्प्रेसरमा विभाजन गर्न सकिन्छ।
भ्याकुम पम्प र कम्प्रेजरको बिभिन्न डिजाइन सिद्धान्तहरू, भ्याकुम पम्पहरूको कारणले सामान्यतया कम्प्रेसरहरूको बदल्न सक्दैन। जे होस् भ्याकुम पम्पहरूले ग्यासहरूको दबाब र घनत्व कम गर्न सक्दछ, तिनीहरूले साना मात्रा र उच्च दबावहरूमा ग्यासलाई संकुचन गर्न सक्दैनन्। थप रूपमा, सीमित प्रदर्शन र भ्याकुम पम्पहरूको कार्यरत विशेषताहरूको कारण तिनीहरू कम-घनत्व ग्याँस र कम-प्रेश वातावरणहरू ह्यान्डल गर्न उत्तम उपयुक्त छन्।
तसर्थ, यदि ग्याँटलाई सानो मात्रा र उच्च दबावमा संकुचन गर्न आवश्यक छ भने कम्प्रेसर प्रयोग गर्नुपर्दछ। यसको विपरित, यदि ग्यास निकाल्न आवश्यक छ र भ्याकुम राज्य गठन गरियो, एक भ्याकुम पम्प प्रयोग गर्नुपर्दछ।
यद्यपि दुबैभ्याकुम पम्प र कम्प्रेसरउपकरणहरू ग्यास प्रशोधन गर्न प्रयोग गरिएको छ, डिजाइन र कार्यविधिहरूमा ठूलो भिन्नताहरू छन्। यद्यपि भ्याकुम पम्पले ग्यासको दबाब र घनत्वलाई कम गर्न सक्दछ, यसले कम्प्रेसरलाई बदल्न सक्दैन, विशेष गरी जब ग्याँसलाई सानो मात्रा र उच्च दबावमा संकुचित गर्न आवश्यक पर्दछ।
